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        旋涂儀操作說明的詳細介紹

        時間: 2018-05-10 10:37:51   點擊:
          旋涂儀的操作說明
         
          1.開機前準備
         
          (1)用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.
         
          (2)a.選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
         
          b.將吸盤裝上(將吸盤缺口處對準軸心之插梢位置).
         
          c.將樣品放在吸盤上(啟動前請確定樣品放在吸盤正中央的位置).※不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.
         
          2.開機&設定
         
          (1)a.將"POWER"開關打開.
         
          b.將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機臺將無法操作).
         
          (2)設定涂布的時間及轉速:Step I Timer I:2~18 Sec Speed I:500~2500R.P.M.Step II Timer II:3~60 Sec Speed II:1000~8000R.P.M.
         
          (3)打開真空幫浦開關,并將"VACUUM"按鈕壓下此時開始抽真空吸附樣品.啟動"START"前,請確認涂布的時間及轉速是否已設定完成.
         
          (4)將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發生.
         
          (5)壓下"START"按鈕,此時機臺開始依步驟(4)的設定條件依Step I,Step II的順序開始涂布樣品.
         
          (6)待時間完畢后,機臺隨即停止運轉,完成涂布的動作.
         
          3.關機
         
          (1)將"VACUUM"關閉,并將真空幫浦關閉,取下完成樣品.
         
          (2)將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關關閉.PS.此機臺有預留廢液回收口,可將多余廢液排出.
         
          (3)用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.

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