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勻膠機的作用及工作原理描述

時(shí)間: 2021-10-11 14:33:03   點(diǎn)擊:
    勻膠機:顧名思義,是把膠均勻地涂在基片上的一種機器。方法很多,有滾涂,浸涂,噴涂,旋涂等,各有優(yōu)缺點(diǎn)。不同的應用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得多,那是因為它能取得較高的均勻性,是半導體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。

     

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